无油真空泵是重要是利用一对螺杆，其特点是两螺杆经精巧动均衡校订，由轴承支撑，装置在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的缝隙，所以使得无油真空泵工作时，彼此之间无磨擦，运行平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，限真空更高。然而在我国利用的螺杆泵重要依附进口，价格十分昂贵。
无油真空泵，它利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气跟排气作用的抽气设备。它的上风弥补了油封式真空泵的不足，咱们都称之为油封式真空泵的进级版。然而无油真空泵的造价也是它的不足之处。接下来重要介绍它的优点跟毛病：
无油真空泵的优点
1、工作腔及螺杆转子名义有防腐涂层，可适应恶劣工况
2、气体在泵内无紧缩，适合抽取可凝性气体
3、不耗油，无滴漏
4、结构简单，维护便利。
5、被抽气体直接排出泵体，不沾染水，无环保压力，气体回收更便捷。
无油真空泵的毛病
1、因为螺杆泵加工难度大，我国利用的螺杆泵重要依附进口，价格十分昂贵。
2、不适于抽除含有性的气体。
3、不适于抽除含氧过高的气体。
随着我国产业界的发展，在半导体产业、液晶显示器等工艺制造中，对清洁真空环境的请求越来越高，而传统的有油真空泵已经达不到这样的请求了。螺杆型无油真空泵以其抽速范畴宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油沾染等优点，得到越来越多制造跟利用单位的器重，在无油真空泵市场中占领重要的位置。在欧美跟日本等发达国度，螺杆型无油真空泵在很多范畴已经越来越多的取代了传统的有油泵。
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